“虽然之前十年，我们一直在和Cymer合作，包括目前我们最新的TWINSCAN 1980Di，采用的光源也是Cymer的……国产仅用在非浸润式型号上。但自从EUV亚联成立后……我们的关系还是有点难处的。”
“特别是EUV光源，目前精光那边尚拿不出什么好方案来，而Cymer好歹提出了LPP方案，而且ASML的验证机型也证实了可行。当然，根据荷兰的消息，LPP方案还是存在功率不足的问...
“虽然之前十年，我们一直在和Cymer合作，包括目前我们最新的TWINSCAN 1980Di，采用的光源也是Cymer的……国产仅用在非浸润式型号上。但自从EUV亚联成立后……我们的关系还是有点难处的。”
“特别是EUV光源，目前精光那边尚拿不出什么好方案来，而Cymer好歹提出了LPP方案，而且ASML的验证机型也证实了可行。当然，根据荷兰的消息，LPP方案还是存在功率不足的问...